Edx | Уроки курса «Электронная микроскопия в электронике»

Электронная микроскопия в электронике
Уроки курса

1 Основные сведения о конструкции современных полупроводниковых сверхбольших интегральных микросхем
1.1 Технология изготовления интегральных микросхем (чипов)
1.2 Визуализация топологических слоев чипов методами оптической и электронной микроскопии
2. Основы растровой электронной микроскопии
2.1 Растровая электронная микроскопия
2.2 Формирование изображений в растровой электронной микроскопии
2.3 Рентгеновский микроанализ
2.4 Получение и цифровая обработка электронно-микроскопических изображений
3. Основы метода фокусированного ионного пучка (ФИП)
3.1 Устройство и режимы работы систем с фокусированным ионным пучком
3.2 Препарирование и модификация интегральных микросхем методом фокусированного ионного пучка
3.3 ФИП томография
3.4 Основы метода фокусированного ионного пучка (ФИП)
4. Метод просвечивающей электронной микроскопии
4.1 Просвечивающая электронная микроскопия
4.2 Формирование изображений в просвечивающем электронном микроскопе
4.3 Растровая просвечивающая электронная микроскопия
4.4 Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ в просвечивающей электронной микроскопии
4.5 Исследование поперечного сечения микросхемы методом просвечивающей электронной микроскопии